AnalyzerSentence analysis7SpansSentence半導体の製造工程ではエキシマレーザーが欠かせない。1000 character limitAnalyzeSentence半はん導どう体たいの製せい造ぞう工こう程ていではエキシマレーザーが欠かかせない。Span Details半はん導どう体たいsemiconductornounのpossession, attribution, nominalizer, or nominal linkergrammar製せい造ぞう工こう程ていmanufacturing processnounではcontrastive で + は; then; well thengrammarエキシマレーザーexcimer lasernounがsubject markergrammar欠かかせない。indispensable; essential; vital; crucialexpression, i-adjective