AnalyzerSentence analysis6SpansSentence基板にアルミニウムを蒸着する。1000 character limitAnalyzeSentence基き板ばんにアルミニウムを蒸じょう着ちゃくする。Span Details基き板ばんcircuit board; substratenounにdirection, time, indirect object, or target markergrammarアルミニウムaluminium; aluminumnounをobject markergrammar蒸じょう着ちゃくvacuum deposition; vapor depositionnoun, suru verbする。light/support verb with a noun or noun-like phrasegrammar
