Analyzer
Sentence analysis
12Spans
Sentence
Span Details
極紫外線
extreme ultraviolet; EUVnoun
リソグラフィ
lithography-> リソグラフィーnoun
は
topic markergrammar
次世代
next generation; future generationnoun
の
possession, attribution, nominalizer, or nominal linkergrammar
半導体
semiconductornoun
製造
manufacture; productionnoun, suru verb
技術
technology; engineering; technique; skill; art; craftnoun
として
as; in the role ofgrammar
注目
attention; notice; observationnoun, suru verb
され
passive, potential, or respect auxiliary-> されるgrammar
ている。
ongoing or resultant stategrammar