気き相そうエピタキシー

noun

vapor phase epitaxy; VPE

Technical term in semiconductor manufacturing; refers to a crystal growth method where a vapor deposits a crystalline layer onto a substrate. Often abbreviated as VPE.

See also: 気相エピタキシャル成長

• 気き相そうエピタキシーは化か合ごう物ぶつ半はん導どう体たいの製せい造ぞうに広ひろく使つかわれている。

  Vapor phase epitaxy is widely used in the production of compound semiconductors.

• この装そう置ちは気き相そうエピタキシーによって薄はく膜まくを形けい成せいする。

  This equipment forms thin films by vapor phase epitaxy.