気き相そうエピタキシャル成せい長ちょう

noun

vapor-phase epitaxial growth; vapor-phase epitaxy; VPE

Technical term used in semiconductor device fabrication; refers to a process where a crystalline layer is grown from a vapor phase onto a substrate.

See also: 気相エピタキシー

• 気き相そうエピタキシャル成せい長ちょうは、高こう品ひん質しつな半はん導どう体たい薄はく膜まくの作さく製せいに用もちいられる。

  Vapor-phase epitaxial growth is used to produce high-quality semiconductor thin films.